Visão geral do produto

SCD6 e SCD6S são sistemas compactos de revestimento e revelação automáticos de rotação de 6 polegadas para fabricação de semicondutores compostos, dispositivos de energia, MEMS e optoeletrônicos.

SCD6: Direcionado para dispositivos de energia e produção de LED. Ele adota estrutura compacta, suporta substratos como Si, Sapphire, GaAs, GaN, SiC, InP, LT, LN e se adapta a processos G-line/i{3}}line.

SCD6S: Orientado para MEMS, circuito integrado de RF, comunicação óptica e pesquisa laboratorial. Ele expande a compatibilidade de materiais com o Glass e adiciona capacidade de processo de PI, proporcionando maior flexibilidade para diversas tarefas de P&D e produção piloto.

Ambos os modelos apresentam dimensões reduzidas, compatibilidade-de tamanho duplo sem substituição de peças, alimentação precisa da bomba dosadora fotorresistente e funções integradas-abrangentes, como EBR, BSR e limpeza automática-de bicos.

Vantagens

Diferenciação de modelos para diferentes cenários O SCD6 otimiza a produção em massa de energia/LED; O SCD6S adiciona suporte a processo PI e substrato-de vidro para usuários orientados a MEMS, RF e pesquisa-.

Módulos opcionais flexíveis Suporta controle de temperatura fotorresistente/revelador, módulo de preparação de vapor HMDS para atender a diversos requisitos de processo.

Capacidade completa de rastreabilidade Armazenamento-de longo prazo para registros de falhas de equipamentos e registros de parâmetros de processo, conveniente para rastreamento de qualidade e análise de processos.

Funções de processo padrão abrangentes-integradas com EBR, BSR, RRC, funções automáticas de hidratação e limpeza do bocal de cola para garantir qualidade litográfica estável.

Fornecimento de fotorresistente de alta-precisão Bomba dosadora de precisão para fornecimento de fotorresistente, alta precisão de dosagem e alimentação de líquido estável; configuração fácil de receita para volume de distribuição.

Parâmetros

Item	SCD6	SCD6S
Modelo	Revestidor e revelador giratório de{0}}polegadas SCD	SCD6S Spin Coater e revelador de 6 polegadas
Tamanho da bolacha	6-polegadas (150 mm), compatível com tamanho duplo sem substituição de peças	6-polegadas (150 mm), compatível com tamanho duplo sem substituição de peças
Material de substrato	Si, Safira, GaAs, InP, GaN, SiC, LT, LN	Si, Vidro, Safira
Configurações de Câmara	2C2D / 4C / 4D	3C / 4C / 6D
Processo de Litografia Suportado	G-linha, i-linha	G-linha, i-linha, PI
Dimensão do equipamento (L × P × A)	1050 × 1900 × 2200 milímetros	1500 × 1450 × 2200 milímetros
Unidades Opcionais	Controle de temperatura fotorresistente/revelador, módulo HMDS	Controle de temperatura fotorresistente/revelador, módulo HMDS
Principais funções-integradas	EBR, BSR, RRC, umidificação e limpeza automática do bocal-	EBR, BSR, RRC, umidificação e limpeza automática do bocal-
Modo de controle	Controle local, receita{0}}de longo prazo e armazenamento de registros de falhas	Controle local, receita{0}}de longo prazo e armazenamento de registros de falhas
Certificação	Compatível com SEMI S2	Compatível com SEMI S2

Perguntas frequentes

P: Qual é a diferença entre SCD6 e SCD6S?

R: O SCD6 é otimizado para dispositivos de energia e produção em massa de LED, suportando diversos substratos de semicondutores compostos (Safira, GaN, SiC etc.) com processos de linha G / linha i. O SCD6S adiciona capacidade de processo PI e compatibilidade com substrato de vidro, mais adequado para cenários de MEMS, RF IC, comunicação óptica e P&D de laboratório. As configurações da câmara e as dimensões físicas também são diferentes.

P: O SCD6/SCD6S suporta mudança de tamanho de wafer?

R: Sim. Ambos os modelos suportam compatibilidade de tamanho duplo sem substituição de peças sobressalentes, reduzindo o tempo de troca do produto.

P: Quais módulos opcionais podem ser selecionados?

R: Módulo de controle de temperatura fotorresistente e revelador, módulo de preparação HMDS estão disponíveis para SCD6 e SCD6S.

P: A máquina pode armazenar processos e histórico de falhas?

R: Sim. Os parâmetros do processo e os registros de falhas do equipamento podem ser salvos a longo prazo para rastreamento de qualidade e depuração do processo.

P: Eles são adequados para produção em massa ou apenas para uso em laboratório?

R: Ambos suportam produção em massa de pequenos lotes, bem como pesquisa e desenvolvimento em laboratório. SCD6 é mais orientado para a fabricação de volume de energia/LED; SCD6S se adapta a projetos piloto de produção e pesquisa.

Tag: Spin-coater e revelador de 6 polegadas, fabricantes e fornecedores de spin-coater e revelador de 6 polegadas na China