Visão geral do produto

O Microscópio Automatizado de Inspeção de Wafers são dispositivos de inspeção automatizados em nível de wafer para indústrias como semicondutores, painéis de exibição e energia fotovoltaica. Eles fornecem soluções eficientes e precisas para inspeção, análise e processamento de amostras.

Posicionamento do produto

O microscópio automatizado de inspeção de wafers que utiliza tecnologia óptica Zeiss, integrando design modular e algoritmos inteligentes, esses microscópios atendem às necessidades completas de wafers, desde carga e descarga automatizada, inspeção multi-dimensional, marcação de defeitos até geração de relatórios, equilibrando facilidade de uso e profissionalismo.

Vantagens

① Modos de trabalho-de alta eficiência

② Solução pronta para inspeção de wafer

③ Medição-em tempo real, fornecendo dados precisos

④ Opções abundantes de lentes objetivas

⑤ Foco automático inteligente e rápido

⑥ Marcação de defeitos a laser inteligente e eficiente

⑦ Visualização do mapa de navegação, comparação de desenhos, posicionamento preciso

⑧ Compatibilidade-de terceiros, permitindo o manuseio automatizado de wafers

Aplicativos

Fabricação de semicondutores
Visor do painel
Indústria Fotovoltaica

Parâmetros

Estágio XY	Módulo de estágio manual/motorizado wafer XY de 8 polegadas Precisão XY: Menor ou igual a 2 μm Faixa de deslocamento: 205 mm × 205 mm Alça de embreagem para movimento rápido
Estágio do eixo-Z	Volante do eixo-Z Precisão de ajuste fino do-eixo Z-: menor ou igual a 1 μm Faixa de deslocamento: Maior ou igual a 36 mm
Lente objetiva	Adote o porta-objetivas de microscópio manual/elétrico original da Zeiss Objetivas Zeiss EC EpiPlan, objetivas EC Epiplan Apochromat e objetivas EC Epiplan Neofluar
Fonte de luz	Fonte de luz transmitida LED 5W Fonte de luz reflexiva LED de 10W
Estágio de carregamento de wafer	Compatível com estágio de wafer de vários-tamanhos (compatível com wafers de 4, 6 e 8 polegadas) Transmissão permitida, bancada de wafer removível e função de detecção do painel LCD são suportadas
Observação de imagens	Compatível com câmeras da série Zeiss Axiocam ou câmeras de terceiros Oculares para Zeiss (opcional) Oferece modos de observação de campo claro e campo escuro, com modos opcionais de contraste de interferência diferencial, fluorescência e polarizado
Alça de controle remoto	Botão de troca de lente objetiva Botão de controle de intensidade de luz de iluminação e pode ajustar automaticamente a intensidade da luz atual de acordo com a lente objetiva/modo de observação Botão de alternância entre iluminação refletida e iluminação transmitida Botão de foco do eixo Telex Z-, sensoriamento remoto do eixo de movimento XY Marcação de defeitos e botão de foco automático
Módulo de foco automático	Compatível com o módulo de foco automático ativo, realizando a função de foco-em tempo real do objeto observado sob uma objetiva de 50×
Módulo de marcação de defeitos	Compatível com o módulo de marcação de defeitos para obter marcação-em tempo real de amostras de peças com defeito
Módulo de manuseio de wafer	Compatível com módulos de manuseio de wafer para obter carregamento e descarregamento automático de wafers

Perguntas frequentes

Que tamanho de wafers ele pode inspecionar? Ele pode inspecionar outros tamanhos?

É compatível com wafers de 4, 6 e 8 polegadas. Com a platina removida, ela também pode ser usada para inspecionar painéis LCD.

Que tecnologia óptica ele utiliza?

Ele dá continuidade à qualidade óptica-antiga da Zeiss e integra as vantagens da óptica ICCS. Todas as objetivas são lentes Zeiss originais, incluindo tipos acromáticos, semi{2}}apocromáticos e apocromáticos. Ele também suporta modos de observação de campo claro, campo escuro, DIC, polarizado e fluorescência.

É difícil operar? Preciso montar os módulos sozinho?

Não, é uma solução pronta para uso. Oculares ergonômicas, uma alça remota e software operacional estão todos integrados. Todo o processo não requer desenvolvimento adicional e até mesmo os iniciantes podem começar rapidamente.

Pode ser operado automaticamente ou controlado remotamente?

Pode ser controlado remotamente por meio da alça, que possui teclas de atalho para alternar as objetivas e ajustar a iluminação. Ele também pode ser equipado com um estágio XYZ motorizado, foco automático e módulos de manuseio de wafer, permitindo carga e descarga automática e rastreamento de foco contínuo.

Como é a precisão do deslocamento? Quão bem funciona o foco automático?

O estágio motorizado XY atinge uma precisão menor ou igual a 2μm, e a precisão do ajuste fino do-eixo Z-é menor ou igual a 1μm. O foco automático utiliza uma fonte de luz de 660nm/780nm/808nm, uma câmera com alta-taxa de quadros-e algoritmos, permitindo foco rápido e rastreamento contínuo. Ele também oferece suporte a atualizações para os microscópios da série Zeiss Axioscópio.

Em quais materiais a marcação de defeitos a laser pode ser usada?

Dois lasers, 450nm e 532nm, estão disponíveis. Materiais como cromo, alumínio, ITO, cobre e resina de silicone podem ser usados para marcação e reparo em nível sub{3}}mícron.

Certificadoções

Os equipamentos ópticos da nossa empresa (incluindo equipamentos de processamento óptico e equipamentos de inspeção óptica) obtiveram com sucesso a certificação ISO.